蛍光X線分析装置、他

摘要

高感度・高速測定で微小部の有害金 属検査効率を向上させる蛍光X線分析 装置。 主な特徴は以下の通り。 （1）高速マッピンク測定 大幅に向上した微小部蛍光X線分析 の感度と高速電動ステージによる連続 駆動の組み合わせにより、高速に2次 元元素マッピンク像を取得できる。