ボールプレーサ、他

摘要

300mmウエハ対応のボールプレ ーサ。仕様は、ボール径:75～ 500μm、搭載ピッチ：120μm、フ ラックス印刷：加圧印刷方式、ウエハ 搬送：自動ハンドラ、外形寸法： 1,750~D ×2,940~W ×1,700~H mm。主 な特徴は以下の通り。 ①　ボール搭載プロセスにおいて、 上下2枚のメタルマスクを利用。 それにより、上部マスクの開口部 へはんだボールの充填を行った後 で、下部マスクの下方からバキュ ームにより吸引し、はんだボール をメタルマスク内に完全に落とし 込むことができる