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摘要

浜松ホトニクス㈱は、ステルスダイシングエンジン （SDE）の供給先の拡大を図るため、㈱ディスコと業務提 携したことを発表した。 MEMS業界では、ステルスダイシ ングの特徴である『ダイシング工程の完全ドライブロセス 化』が定着し、現在、量産工場での稼動が拡大している。