X線検査装置＋解析装置、他

摘要

任意の角度から検査が可能なX線検査装置＋解析装置。主な特徴は、①広角照射マイクロフォーカスX線源を用いた高倍率、高解像度のX線観察装置に自動検査モードを付属、②高倍率での不良解析装置に自動プロクラミング・検査判定モードを追加したことで、少量多品種検査にも対向可能、③X線を傾けないため、傾斜撮影時も高倍率検査が可能、④デイテクタ（受像部）は110万画素フラットパネルを採用、⑤1,050×1,050画素、12ビット（4,096階調）、⑥平面による受像で画面の歪み、輝度ムラがない、⑦140万画素イメージインテンシフアイヤも選択可能、⑧多軸ロボットにより高機能観察・検査が可能、⑨X、Y、R1（テーブル回転）、Z、ZY、R2（カメラ回転）の6軸稼動、⑩カメラの傾斜角度をPCで補正計算、座標追従機能を搭載、⑪サンプルの観察位置はX線マップ表示、実態カメラ画像から拡大観察可能、⑫不良個所にはマーキング、⑬検査内容、X線によるボイド検査、はんだ検査、部品検査などが可能、⑭LCDタッチパネルによる簡単操作、など。