基板用投影露光装置、他

摘要

等倍投影レンズを搭載した基板露光用投影露光装置。 多彩なアライメント方式・照明により、ほとんどのアライメントマークを認識できる。 カタログスペックだけではなく、現実のタクトタイムを改善。 さらに、グローバルアライメント（GA）を用いれば、ショットごとアライメントに比して、速いタクトと、ぱらつきの少ない重ね精度を実現することができる。