マイクロフォーカス3次元X線CTシステム

摘要

A4サイズの大型基板でも非破壊で 断層撮影ができるなど、高精度CT解析 を実現する独自の3次元斜めCTシス テムを初めて標準搭載した、汎用タイ プのマイクロフォーカス3次元X線CT システム。 　実装基板の接合部や基板内部を容易 にCT解析ができることに加え、デジタ ルフラットパネルの採用で、歪みやノ イズの少ない断層像を構築することが 可能になった。また、生産現場への導 入を想定し、操作デスクをなくしたこ とで、設置面積が従来の半分以下とい う大幅なコンパクト化を実現した。