低コスト大口径GaN基板の製造に成功

摘要

住友電気工業（株）（以下、住友電工）と、S．O．I．TEC Silicon On Insulator Technologies S．A．（以下、Soitec社）は、4インチ径及び6インチ径の薄膜GaN基板の製造に成功し、このたび量産に向けたパイロット製造ラインの整備を開始した。