全自動デジタル露光機

摘要

高い描画性能はもちろん、生産ラインの効率化に貢献する様々な機能を有し、ユーザーの多様なニーズに応える、全自動デジタル露光機のシリーズで、最新モデル『IP-3700H』『IP-3600H』『IP-3600HH』の各モデルをラインアップ。同シリーズとしての主な特徴は以下の通りである。DMDを用いた独自の露光方式を採用しており、高レベルなファイン性と線幅精度安定性を実現。これにより、ビルドアップ基板からパッケージ基板まで幅広い用途に対応可能となっている。