MEMS技術で指先サイズにまとめた小型FTHRエンジンを開発

摘要

浜松ホ卜ニクス（株）は、MEMS(微小電気機械システム）技術で、光干渉計と赤外線検出素子の光学機構を指先サイズにまとめた『超小型FTIRエンジン』を開発した。そして、新たな応用の可能性を見つけるため、本エンジンを装置に組み込み可能な小型で安価なフーリ工変換型赤外分光器(以下FTIR）にまとめ、6月から国内外の各種装置メーカーにサンプル出荷を開始、今年秋には『MEMS-FTIR』として製品化を予定している。