X線自動検査装置

摘要

コンパクトでありながら幾何学倍率1,000倍を達成し、かつコストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。また同製品は、上記のX線ステレオ方式に加え、さらに簡易CT機能を付加している。この機能は、①ステレオ方式の取得枚数を増撮、②斜視:2～3°……360°まで撮影可能、③独自のステレオCT処理を行う、④対象となる基板の裏面から表面を100スライスに分割、などの特徴を有特徴は下記の通り。