X線自動検査装置

摘要

600×600mmの大型基板に対応可能で、幾何学倍率1,000倍を達成したX特徴は、①検査対象の見えない部分をX線透過しリアルタィムでX線観察が可能になる、②大型プリント配線板、大型実装基板などの観察に最適、③基板サイズ600×600mmの全面をカバー、④X線カメラは0～?60°まで任意角度に傾斜可能、⑤タッチパネルとJOYスティックを搭載し、高い操作性を実現している、⑥スライドドアで大きなサンプルも楽にセットすることができる、⑦X、Y、Z1(カメラ)、Z2(X線)、Q軸(傾斜)の5軸操作、⑧X線ステレオ方式で、裏面の実装部品を除去して観察可能(オプション)、⑨ターンテーブルは□400×400mmの基板まで対応可能(オプション。)、⑩X線ステレオ方式で、裏面の実装部品の影響を除去(オプション。)、など。主な仕様は、X線出力:20-90kV、X線焦点径:5、15μm(メニューで選択)、X線管種類:マイクロフォーカス密閉源(密閉型)、X線ターゲット位置:透過型ターゲット、X線管電圧:20-90kV、X線管電流/ターゲット電流:管電流0.1mA、ターゲット電流0.04mA、ターゲット回転機構:500hごとにターゲット回転、メッセージ出力、X線カメラ上下軸ストローク:X軸…600mm、Y軸…600mm、X線管上下軸ストローク:Z1(X線カメラ上下)…100～500mmカメラ傾斜軸ストローク:Z2(X線管上下)…0～140mm、装置寸法:2,000(W)×2,000(D)×1,560(H)など。