基板両面端面クリーニング装置

摘要

従来の基板両面（表·裏）同時クリーニングに加えて、今までクリーニングできなかった、基板の両面、及び搬送端面（サイド）に付着したくずやごみをブラシによってクリーニングする独自技術（写真1)を採用した装置。同製品のクリーナ（図1)の特徴は以下の通り。①基板の上面?下面及び搬送端面に付着したごみをブラシにより同時にクリーニングする、②上面用·下面用のブラシュニットは運転モードに合わせて自動で昇降を行う、③上面からのエアーブローにより、スルーホール内のゴミを除去する、④ブラシュニットの清掃及びブラシ交換については簡単に取り外しが行える構造を採用、⑤基板搬出側上面·下面にィオナイザを標準装備、⑥集塵機のフィルタ目詰まりを検出する機構を標準装備、など。