N_2リフロー装置、他

摘要

新しい大型水冷ユニットを採用した ことにより、高品質の性能を実現するN_2リフロー装置。主な特徴は下記の通り。 ?各ゾーンごとに温度管理大型水冷ユニットを加熱ゾーン、冷却 ゾーンのそれぞれに配置することによ り、炉内N_2雰囲気からフラックスを除 去するとともに、安定した湿度コント ロールと酸素濃度を実現。冷却され、か つ、フラックス除去されたN_2空気をそ れぞれのゾーンに戻すことによって外 気温との差が少なくなり、外部からの酸 素が侵入しにくくなるため酸素濃度が 安定するようになる。