半導体業界の話題(第7回） ェレク卜ロニクス業界の発展を牽引してきた 「ムーアの法則」はさらに続く⑥

摘要

ムーアの法則は、LSIのパターン微細化により進展してきた。そのためにはパターニングのためのフォ卜レジス卜工程の進歩が著しいが、今月はその進歩の経過をざっと眺めてみよう。