新型電気除塵装置BANDO MDECの開発と応用

摘要

PC、デジタルTV、携帯鼋話などデジタル家電にはFPD (Flat panel display)が必須部品として搭載されており、そ の根幹を成す電子部品?材料には有機フィルムやセラミック基 回路基板などには数多くの電気機能材料が用いられてい る。FPDの動向として、小型化、薄型化が引き続き進んでい るが、この実現には、高度な製造技術が必要で、高歩留まりや 高品質を前提としながらも、安定した生産性が求められてい る。これらの製造工程において、異物の付着は製品歩留まり を大きく左右することから、きわめて高い除塵技術への要求 が高まっている。特に、シー卜や基板の薄型化に伴い、管理の 対象となる異物の大きさも目視レベルの30μmから、20μ m前後まで厳しくなるいっぽう、1mmレベルの粗大な屑まで が対象となっているなかでも、皮膚、人毛、頭髪などの人体発 塵源、装置機構部から発塵源、大気浮遊塵埃やもち込み部品-部材からの付着塵埃などの外乱要因のすべても除去対象と なって 33 り、Class 100、1000、1 0000 (Fed.std209D) でのクリーン化技術が必然的に求められている。