半導体業界の話題(第3回）エレク卜ロニクス業界の発展を牽弓Iしてきた「ムーアの法則」はさらに続く

摘要

先月号では、LSIの集積度が年々増加するというムーアの 法則を示し、その主な技術としてパターンの微細化が重要で あることを述べ、CMOSの簡単な説明を行った。比例縮小則 の示すところでは、微細化により集積度が上がるだけでなく、 LSIの性能も向上することを述べたが、し、っぽう、表1のよう な多くの弊害があらわれるようになり、その解決のためLSIの 構造が複雑になってきた。今月はその解説を行う。