X線自動検査装置

摘要

コンノくクトでありながら、3D-X線ステレ才方式により、20層以上の多層基板やパワーデバイスの2層はんだ分離検査を実現する、コストパフ才ーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。特徴は、①110kV、0.2mA、20Wの高出力と空間分解能2μmの高解像度(図1)を達成、②3D-X線ステレオ方式による2層分離検査が可能、③長寿命、130万画素、14bit(16384階調）X線フラットパネルの採用によるランニングコストの低減、④コンパクトな検査機本体、⑤QRコード認識によるトレーサビリティ対応、など。