アルティメッ卜クリーニング装置、他

摘要

基板に付着したごみを、ブラシと粘着ローラによってクリーニングする装置。主な特徴は、①基板の端面及び表面/裏面をブラシによりクリーニングする(図1)、②微細な塵竣については粘着ローラで除去する、③品種登録によって、運転モード、基板の厚み、コンベア幅をー括で段取り替えを行う、④機種読み出しによつて、運転モード、コンベア幅、ブラシの高さなどの条件が切り替わる、⑤基板とブラシ(上面/下面)が接触しているか数値で確認することができる、⑥運転モードは、任意に設定可能、など。