基板コーティング装置

摘要

防湿材を塗布する基板コーティング装置、識別情報をレーザ照射で基板に印字するレーザマーカーなど同社製品のラインアップを以下に紹介する。インラインタイプ『Pegasus-600I』と、卓上タイプ『Pegasus-300F』を用意。インラインタイプの塗布ノズルには、フイルムコートタイプと、ニードルタイプの2種類を標準装備している。広い面積を短時間かつ、限定された領域を正確に防湿剤塗布していくことができる(ただし卓上タイプはフィルムコートタイプのみ)。作業者は、内蔵カメラによる基板全体の画像をモニタで見ながら塗布エリアを指定できるため、実際の塗布感覚でのティーチングが可能。ティーチングでは主に、「塗布する」領域と、「塗布しない(禁止)領域」を設定する。領域指定はモニタ上で簡単に実施でき、塗布領域のノズル高さと、塗布領域間のノズル移動高さを入カするとティーチングが完了。塗布方向、使用ノズルなどの詳細設定も領域ごとに設定可能な上、作成データをシミュレーションすることで実際に塗布することなく塗布経路が確認できる。また基板の表裏、搬送方向の確認及び、塗布エリアの検査機能の他、最短塗布ルート探索ち自動計算するため、タクトタイムの短縮に貢献する。