Form von Mikrowerkzeugen vollstandig erfassen: Mit dem richtigen Dreh zum 3D-Modell

摘要

Die Kombination eines optischen Messsystems mit einer Rotationseinheit ermoglicht die prazise Erfassung komplexer Topografien in einem Messablauf. Je komplexer die Fertigungsbedingungen und Oberflachengeometrien, desto hoher der Bedarf an Messsystemen, die auch schwierige Topografien schnell, einfach, genau und ruckfuhrbar messen. Alicona aus Grambach/Osterreich richtet sich mit dem optischen 3D-Messsystem 'Infinitefocus' an diesen Anforderungen aus (Bild 1). Selbst bei Oberflachen mit steilen Flanken, stark variierenden Reflexionseigenschaften und grossen Rauheiten haben die Messergebnisse bis 10 nm vertikale Auflosung.