前年比4％増の52t

摘要

ジクロロシラン（SiH2Cl2）の10年の需要量は、前年比4％増の52tになったとみられる。ここ数年は、年間55～60tで比較的安定していたジクロロシランであるが、09年は、世界同時不況の影響もあり、同16.6％減と大幅な落ち込みを記録していた。ジクロロシランは、半導体向けでは減圧CVDプロセスの容量絶縁膜形成やゲート電極材料としてアンモニアと混合し用いられる。