東芝、エルピーダの牽引が国内低迷をカバー

摘要

六弗化タングステン（WF6）の10年需要量は前年比10％増の100tに推移したと推定される。09年は同4.6％増の90tと半導体メーカーの大半が設備投資を抑制したにも関わらず、東芝、エルピーダという二大ユーザーの稼働率好調が相殺したと見られる。用途はシリコン半導体のCVDプロセスのタングステン、シリサイド、配線材料として利用されるが、最近ではセンサやMEMSなどでの用途開発も進んでいる。