サムスン華城半導体工場で2基目のASU稼働

摘要

韓国のブラックスエア·コリアは、同国華城のサムスンの半導体工場で二基目となる空気分離装置（ASU）を稼働した。ブラックスエアは同工場で約10年前に一基目のASUを設置し、300mmウエハー製造用高純度窒素などを供給してきた。今回増設するASUについても、高純度酸素、窒素、アルゴンの長期オンサイト供給契約を結んでいる。