キヤノンアネルバMEMSチップ採用の真空計「M－342DG」発売

摘要

半導体製造装置や真空機器を取り扱うキヤノンアネルバ（神奈川県川崎市、酒井純朗社長）は、センサ部に小型MEMSチップを搭載した真空計「M－342DG」を2013年5月より販売開始した。