HBr 臭化水素 車載用半導体向け軟調

摘要

20年国内出荷量は前年比12 .4%減の120tで推移し た模様だ。半導体製造工程の ポリシリコントレンチェッチ ング用ガスとして、塩素など と共に用いられる。