再現性、流量精度保証サーマル式PIMFC

摘要

テーマは「半導体製造プロセスの枠にとどまらないHORIBAに期待（Counton）して下さい」でグループ全体で幅広いソリューションを提案する。主力MFCではSEC－Z700Sはサーマル式PIMFCで再現性、流量制御を保証、ワイドレンジで領域を拡大、ハードウエアを減らし温度範国を60℃まで使える開発を行った。イーサキャット対応。