ウェット配管にPFA製品、真空用アングルバルブも紹介

摘要

半導体製造装置メーカー等から、とくにフィルターの受注が急増しているという同社は、既存 の韓国TKFや台湾EFTのバル ブや継手類を前面に紹介。フィル ターはカットサンプルも展示。昨 年より参考出品している韓国のE＆I·B社製品からはPFAバルブ、継手、ライニングバルブ類を紹介。金属部品を使わない高耐食性が特長で、ウェット配管と呼ぼれる液晶や半導体分野の薬液供給ラインにフィットする。同社が日本における総代理店となるため、日本市場に適合するよう独自に韓国製を改良している。