96！！3D－NAND超高層化でガスもニューフェイス登場

摘要

3D-NAND型フラッシュメモリ（以下3D-NAND）の高層化競争が激しさ を増している。特殊材料ガス 市場にも六塩化タングステン や二酸化硫黄といった新たな ガスが使われるなど大きな変化が起きようとしている。