大流量·高温用途に対応 するALD用バルブ「A LDSシリーズ」など

摘要

大流量·高温用途に対応する「A LD20シリ·ズ」をラインナップ に加えたALD (原子層蒸着)用 バルブをはじめ、優れた耐久性と 断熱性に柔軟性を兼ね備えたホー ス製品や、金属イオンの溶出ゃコ ンタミを防止する次世代PT FE 製ダイヤフラム.バルブなど、日 本の顧客のニーズに応える製品を 実機·実演展示で紹介する。