岩谷産業／ヴエルサムマテリアルズ、ドーバントガス供給システム『ION－X』、日本での拡販に注力

摘要

ヴュルサムマテリアルズ（ギレルモ·ノヴオCEO）は、半導体及びディスプレイ向けドーパントガス供給システム『ION-X』 のグローバル販売を進めており、この程日本での拡販にあたって、岩谷産業とパートナーを組む。岩谷産業は今後、新たに同システムによるアルシン、ホスフィン、三フツ化ホウ素の国内販売をスタートする。