堅調なインラインガス精製器市場、有機ELや水素エネルギー関連から引き合い増える

摘要

半導体製造工程を中心に、ガス中に含まれる水分や酸素、ハイドロカーボンといった不純物除去目的で設置する機器が、精製装置ならびにインライン精製器だ。いずれも半導体分野が主力のため同業界の動向に影響を受ける運命にあるが、近年インライン精製器では有機ELや水素エネルギー関連で新規需要が出てきている。