Prozesskontrolle fur Openair-Plasma-Systeme

摘要

In zahlreichen Branchen - so auch in der Medizintechnik - steigen die Anforderungen an Prozesssicherheit und -reproduzierbarkeit stetig. Eine der grossen Herausforderungen in der Oberflachenbehandlung mit Plasma besteht darin, moglichst keine sichtbaren Spuren auf dem Substrat zu hinterlassen.