机译:具有低温硅酸锆的低温氟化的相工艺
Назучно-образовательный центр Н.М.Кижнера Инженерная школа новых производственных технологий Национальный исследовательский Томский политехнический университет пл.Ленина 30 Томск Российская Федерация 634050;
Назучно-образовательный центр Н.М.Кижнера Инженерная школа новых производственных технологий Национальный исследовательский Томский политехнический университет пл.Ленина 30 Томск Российская Федерация 634050;
циркон; плазмодиссоциированный циркон; гидродифторид аммония; фторирование;