Свойства пленок нитрида бора, полученных методов ВЧ-магнетронного напыления

摘要

Разработана технология получения пленок нитрида бора методом ВЧ-магнетронного напыления. Исследованы электрофизические свойства и структура пленок. Установлена возможность получения оптически прозрачных пленок нитрида бора, имеющих механически прочную алмазоподобную структуру. Пленки нитрида бора могут применяться в качестве защитных покрытий для различных конструкций, в том числе для изготовления многослойных пленочных структур, используемых в электронных устройствах и в элементах изделий электроники.