Технологический процесс изготовления стеклокерамических элементов приборов для производства вакуум-плотных спаев

摘要

Представлены результаты разработки и исследования режима технологического процесса (ТП) изготовления деталей из стеклокристаллических материалов для получения вакуум-плотных спаев с металлами в корпусах интегральных схем (ИС).