マイクロ材料試験機の開発とその応用：マイクロ／ナノテクノロジーを支える材料計測技術

摘要

ミクロンサイズの超微小寸法材料の評価試験は、MEMS材料の評価ばかりでなく、構造材料材料の強化設計にもきわめて重要な材料評価試験である。 この新しい材料試験法の発展のためには、より簡便で多機能なマイクロ材料試験装置の開発がきわめて重要となる。 我々の研究グループでは、これまでマイクロ材料試験装置の開発を行なってきたが、今回、既存の装置に比べて、簡便で機能·性能を向上させた試験機を開発した。 本報告では、開発した試験機の概要を紹介するとともに、薄膜の機械的性質評価試験への応用例について述べる。