インフラモニタリングのための シリコン振動式高感度ひすみセンサ

摘要

近年、建築物や橋梁、トンネル等の構造物の 状態をモニタリングし、メンテナンスを適切に 実施することで、管理コストを最適化したいと いう要求が高まっている。モニ夕リングには、 加速度センサによる振動計測に加え、構造物の ひずみを直接測定したいというニーズがある が、金属箔等の従来のひずみゲージを用いた計 測では、測定分解能が卜分でなゝ場合や測定値 がドリフトしてしまうといった課題がある。