Диффузия, растворимость и электрические свойства самария и иттербия в кремнии

摘要

Исследована диффузия самария и иттербия в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100-1250°C). Установлены диффузионные ная природа исследованных примесей в кремнии.