机译:真空 - 弧形碳腈涂层涂层分离的等离子体流动
Физико-технический институт НАН Беларуси;
Физико-технический институт НАН Беларуси;
Физико-технический институт НАН Беларуси;
вакуумно-дуговое осаждение; карбонитридтитановые покрытия; сепарация; текстура; микротвердостъ; остаточные напряжения;