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Algorithm of crystal profile control for automatic crystal growth by the Czochralski method

机译:CZOCHRALSKI方法自动晶体生长晶体轮廓控制算法

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摘要

The new generation crystal growth systems should work in the automatic mode. To obtain high-quality crystals, accurate maintenance of the specified boule profile is required. In the systems using weight control, the programmed force is compared to the force acting upon the weight sensor. In this paper an algorithm for calculation of the programmed force is offered. It is based on the numerical solution of the Bardsley equation. This algorithm allows crystal profile setting both analytically and numerically.
机译:新一代晶体生长系统应在自动模式下工作。 为了获得高质量的晶体,需要准确维护指定的横磨板。 在使用权重控制的系统中,将编程力与作用在重量传感器上的力进行比较。 本文提供了一种计算编程力的计算算法。 它基于Bardsley方程的数值解。 该算法允许分析和数值晶体轮廓设置。

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