Структура и свойства износостойких ионно-лучевых вакуумных покрытий

摘要

В работе исследованы структура и свойства покрытий, сформированных методом ионно-лучевого распыления в вакууме композиционных мишенейна основе хрома с добавками ультрадисперсных алмазов и нанодисперсных частиц Al_2O_3 и ZrO_2. Показано, что метод ионно-лучевого распыления позволяет переносить материал мишени на изделие в виде покрытия с сохранением состава и стехиометрии соединения. Разработана структурная модель ионно-лучевых вакуумных покрытий на основе хрома с добавками ультрадисперсных алмазов, Al_2O_3 и ZrO_2.