クリーシルームにおける環境保全活動 - クリーンルームの環境負荷と運用および化学物質の管理システム

摘要

携帯電話などのモバイル機器や液晶テレビなど、省エネルギー、省資源を目指したいろいろな機器の小型化が進hでおり、集積回路のみならず1μm以下の微細加工が必要な製品の製造や研究開発を行なうためには、クリーンルームが必須の設備となってきている。しかし、微細化により製品の省エネルギー/省資源が達成できる一方、クリーンルームそのものは電力·水·化学物質などを大量に使うため、環境負荷の大きい設備といえる。