スキャンタイプ露光装置に最適な高剛性アルミ小型定盤「HiCAP」

摘要

近年、スキャンタイプの露光装置の普及に伴い、装置設置床の剛性に対して厳しい要求が課せられるようになってきた。 当社は、スキャンタイプの露光装置など、加振力を発生する精密機械を設置するのに最適な高剛性アルミ小型定盤HiCAP(High Stiffness Compact Aluminum Platform)を開発し、販売を行なっている。本稿ではHiCAPの特徴について紹介する。