第1章　クリーンルーム設計の予備知識：クリーンルーム開運計測機器とクリーンルーム用品

摘要

前回、クリーンルームを構成する部材と設備について解説した。 今回は、クリーンルームで使用される計測器やクリーンルーム用品について、概略を述べていくことにする。 クリーンルームで用いられる計測器の中で、クリーンルーム特有の計測項目としては、粒子数の計測（清浄度計測）と微生物数の計測が上げられる。 その他に、気流方向や微振動などもクリーンルーム以外ではあまり測定することはない。