超純水中の過酸化水素濃度管理：モノリス型触媒樹脂による過酸化水素除去と濃度モニタ

摘要

超純水中に不純物として含まれる過酸化水素の濃度を管理するため、高効率かつクリーンなモノリス型触媒樹脂および過酸化水素モニターを開発した。先端半導体デバイスの製造に用いられる超純水は、デバイス構造の微細化および高集積化に伴い、年々求められる水質が高くなっている。国際半導体技術ロードマップ（International Technology Roadmap for Semiconductors：ITRS）が発行した超純水への要求水質には、管理すべき不純物として、有機物·全シリカ·微粒子数·溶存酸素（Dissolved Oxygen：DO）·金属類などが挙げられている（表1）。超純水の高水質化を図る際には、これらの項目の不純物濃度レベルを極限まで低減することと、その水質に揺らぎ（変動）がないことが要求される。