ハーフインチウェーハの開発：ハーフインチウェーハの品質向上に向けた課題取り組みと開発の強化

摘要

今回は、現在当社において、「ハーフインチウェーハの品質向上に向けた開発の強化」を重要な課題テーマとして位置付け、キーポイントとなるハーフインチウェーハ加工の工程改善強化および加工プロセスにおいての課題取り組み状況について順を追って述べる。