MNOIC（MicroNano Open Innovation Center：エムノーイック）：200～300mm MEMS最先端施設の共同利用でオープンイノべーションを推進

摘要

マイクロ·ナノ分野の開発効率、事業効率を飛躍的に向上させ、産業の最強化·再強化を目的に、産業技術総合研究所の保有するMEMS最先端施設の共同利用でオープンイノベーションを推進するMNOIC（エムノーイック）について、狙い、機能、施設の概要について述べる。