高清浄度を実現する枚葉スクラブ·スピン洗浄装置

摘要

CENOTEは対象ウェーハによりさまざまな洗浄方法を駆使し高清浄度を得る。代表的な構成単位としては、縦型オゾン槽、縦型スクラブ槽、スピンチャンバーである。ウェーハ表面にポリッシング砥粒が付着した状態の極端に汚染されたウェーハの場合は、縦型オゾン槽→縦型スクラブ槽による、親水化処理→物理洗浄のシーケンシャル処理が非常に効果的である。CENOTEでは、アニールやその他の雰囲気等による比較的軽度の汚染はスピン洗浄によるリフトオフのみで、高清浄度を得ることができる。以下各ユニットにおけるCENOTEの特徴と性能を述べる。