携帯型半導体材料ガス検知器：XPS-7ガスに合わせてセンサユニットを交換するだけ

摘要

今回紹介させで頂く商品は、現場でのガス濃度確認に用いるポータブルガス検知器〔XPS-7〕である。 半導体工場やその研究施設等では複数の特殊材料ガスが使用されている。 これらの場所では定置型のガス検知部が多数設置されており、異常の有無を連続監視している。 ポータブルガス検知器はこれら定置式ガス警報器に異常があった際の現場での環境濃度の確認や漏洩個所の特定、シリンダーキャビネット等のガスボンベ交換作業の現場確認、等様々な場所、用途で用いられている。