СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТI IОННО-ПЛАЗМОВИХ ПОКРИВIВ WC

摘要

Розроблено технологiю формування покривiв, яка базуеться на розпиленнi багатьох катодiв-мiшеней з компонентiв покривiв. Для апробацii технологii на пiдкладках з бронзи БрАЖ9-4 та корозiйнотривкоi сталi 12Х18Н10Т сформовано покриви WC завтовшки 4...9 μm. Дослiджено iх структуру, морфологiю поверхнi, а також неоднорiднiсть електроопору системи покрив-пiдкладка в нормальному до ii поверхнi напрямку. Встановлено, що покриви володiють текстурою та мiстять наноблоки розмiром 30 nm. Виявлено, що морфологiя поверхнi покривiв чутлива до умов iх формування.